最新一种软损伤设备的分体式喷嘴的制作方法

这里介绍的最新一种软损伤设备的分体式喷嘴的制作方法,为您描述接下来的内容:


本实用新型属于半导体硅片软损伤吸杂技术领域,具体涉及一种软损伤设备的分体式喷嘴。



背景技术:

硅是集成电路制造技术中的基础半导体材料。随着集成电路(ic)的发展,对硅片的内在质量及表面质量,即高纯度,高完整性也不断提出新的要求。为了满足集成电路高速发展的需要,除了改进硅单晶生长技术,提高硅片加工质量外,通常在ic用硅片背面进行特殊加工,利用杂质吸除技术,以保证硅片的质量。

目前应用较广泛的吸除工艺主要分为内吸除和外吸除两类。作为应用外吸除技术的商品硅片主要由背封多晶硅薄片和背面软损伤处理两种。背软损伤的原理概况讲,是将磨料与纯水按一定比例混合,通过经分离去油水的清洁压缩空气为动力,将配制好的砂液通过循环系统压入喷管。然后,通过喷嘴的压缩空气把砂液以高压形式喷向硅片,在硅片背面的浅表层中引入机械损伤,利用机械损伤和硅片在器件加工流程中热处理所诱生出的晶格缺陷,起杂质吸除的作用。

喷砂部件由喷管和喷嘴组成,当采用由喷管和喷嘴组合的喷射方法时,因压缩空气的压力大,会造成喷砂的效果不理想,且喷嘴的损耗量也很大。

通过对现有的背软损伤设备的取样调查发现,所使用的喷嘴是空心锥喷嘴,喷嘴的锥状口和平直段为一体铸成。这样,在大规模生产下,会出现以下情况:其一、在对不同规格的硅片进行背面软损伤时,对锥状口的直径有要求。此时需要更换喷嘴;其二、在压缩空气的长期高压喷射下,锥状口逐渐变大且锥状口成不规则形状,进而影响流量,压力和砂液喷射面积。



技术实现要素:

为解决以上问题,本实用新型提供一种软损伤设备的分体式喷嘴,便于软损伤吸杂过程中喷嘴的更换,同时还减少不同口径的喷嘴的库存,降低生产成本。

为了实现上述目的,本实用新型采用的技术方案为:

一种软损伤设备的分体式喷嘴,其特征在于:包括平直管体、锥形喷嘴和连接机构,所述平直管体的一端与软损伤设备的砂液喷管相连通,平直管体的另一端还通过所述连接机构连接所述锥形喷嘴,所述连接机构包括连接套筒、螺纹筒和防漏垫圈,所述螺纹筒为内螺纹筒,所述螺纹筒还沿锥形喷嘴的中心轴方向连接于锥形喷嘴的底端,所述螺纹筒还连接所述连接套筒;所述连接套筒包括内筒壁、外筒壁和连接环,所述内筒壁上设有与所述内螺纹筒相匹配的外螺纹,所述内筒壁沿平直管体中心轴方向连接于平直管体的另一端,所述内筒壁的端部连有连接环,所述连接环垂直于内筒壁的侧壁,所述外筒壁套设于所述内筒壁的外部,所述内筒壁还通过所述连接环连接于所述外筒壁。

进一步的,平直管体的一端还连接接头内螺纹,所述平直管体通过接头内螺纹连接于所述砂液喷管。

进一步的,锥形喷嘴的外壁还设有便于锁紧锥形喷嘴的锁紧平台。

进一步的,所述内筒壁包括螺纹端和防漏端,所述内筒壁通过所述螺纹端连接于所述连接环,所述防漏端沿内筒壁的外壁设有一环形凹槽,所述环形凹槽内设有第一防漏垫圈。

进一步的,所述内筒壁和所述外筒壁之间预留供螺纹筒通过的连接间隙。

进一步的,所述连接间隙内还设有第二防漏垫圈,所述第二防漏垫圈与所述连接环相接触。

本实用新型的有益效果为:本实用新型的一种软损伤设备的分体式喷嘴,平直管体和锥形喷嘴之间通过连接机构相连,当出现喷嘴锥状口需要更换的情况下,只需用工具卸掉损坏的锥形喷嘴,更换上所需的锥状口,减小了在软损伤吸杂过程中喷嘴的库存,同时还降低了生产成本;连接机构包括连接套管、螺纹筒和防漏垫圈,其中,连接套管的防漏端设有供第一防漏垫圈设置的环形凹槽,防漏端、第一防漏电全和螺纹筒之间构成第一道防漏设施,连接套管的连接间隙中设有第二防漏垫圈,螺纹筒将第二防漏垫圈压紧于连接环处,螺纹筒、第二防漏电全和连接环还构成第二道防漏设施,两道防漏设施的设置避免了分体式喷嘴的漏液情况,同时,第一道防漏设施还可避免螺纹连接处被砂浆液渗入时砂浆影响锥形喷嘴的更换。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图;

图2为连接套筒的结构示意图;

图3为内筒壁的结构示意图;

图4为螺纹筒与锥形喷嘴的结构示意图。

其中,图中各标号为:1、平直管体,2、锥形喷嘴,3、螺纹筒,4、内筒壁,401、螺纹端,402、防漏端,5、外筒壁,6、连接环,7、接头内螺纹,8、连接间隙,9、锁紧平台,10、环形凹槽,11、第一防漏垫圈,12、第二防漏垫圈。

具体实施方式

图1为本实用新型的结构示意图,本实用新型的一种软损伤设备的分体式喷嘴,平直管体1和锥形喷嘴2之间通过连接机构相连,当出现喷嘴锥状口需要更换的情况下,只需用工具卸掉损坏的锥形喷嘴2,更换上所需的锥状口,减小了在软损伤吸杂过程中喷嘴的库存,同时还降低了生产成本;连接机构包括连接套管、螺纹筒3和防漏垫圈,其中,连接套管的防漏端402设有供第一防漏垫圈11设置的环形凹槽10,防漏端402、第一防漏电全和螺纹筒3之间构成第一道防漏设施,连接套管的连接间隙8中设有第二防漏垫圈12,螺纹筒3将第二防漏垫圈12压紧于连接环6处,螺纹筒3、第二防漏电全和连接环6还构成第二道防漏设施,两道防漏设施的设置避免了分体式喷嘴的漏液情况,同时,第一道防漏设施还可避免螺纹连接处被砂浆液渗入时砂浆影响锥形喷嘴2的更换。

平直管体1的一端还连接接头内螺纹7,平直管体1通过接头内螺纹7连接于砂液喷管,平直管体1的另一端还通过连接机构连接锥形喷嘴2,连接机构包括连接套筒、螺纹筒3和防漏垫圈,图4为螺纹筒与锥形喷嘴的结构示意图,螺纹筒3为内螺纹筒3,螺纹筒3还沿锥形喷嘴2的中心轴方向连接于锥形喷嘴2的底端,其中,锥形喷嘴2的外壁还设有便于锁紧锥形喷嘴2的锁紧平台9,螺纹筒3还连接连接套筒。

图2为连接套筒的结构示意图;连接套筒包括内筒壁4、外筒壁5和连接环6,内筒壁4上设有与内螺纹筒3相匹配的外螺纹,内筒壁4沿平直管体1中心轴方向连接于平直管体1的另一端,内筒壁4的端部连有连接环6,连接环6垂直于内筒壁4的侧壁,外筒壁5套设于内筒壁4的外部,内筒壁4还通过连接环6连接于外筒壁5;图3为内筒壁的结构示意图,内筒壁4包括螺纹端401和防漏端402,内筒壁4通过螺纹端401连接于连接环6,防漏端402沿内筒壁4的外壁设有一环形凹槽10,环形凹槽10内设有第一防漏垫圈11,内筒壁4和外筒壁5之间预留供螺纹筒3通过的连接间隙8,连接间隙8内还设有第二防漏垫圈12,第二防漏垫圈12与连接环6相接触。


技术特征:

1.一种软损伤设备的分体式喷嘴,其特征在于:包括平直管体、锥形喷嘴和连接机构,所述平直管体的一端与软损伤设备的砂液喷管相连通,平直管体的另一端还通过所述连接机构连接所述锥形喷嘴,所述连接机构包括连接套筒、螺纹筒和防漏垫圈,所述螺纹筒为内螺纹筒,所述螺纹筒还沿锥形喷嘴的中心轴方向连接于锥形喷嘴的底端,所述螺纹筒还连接所述连接套筒;

所述连接套筒包括内筒壁、外筒壁和连接环,所述内筒壁上设有与所述内螺纹筒相匹配的外螺纹,所述内筒壁沿平直管体中心轴方向连接于平直管体的另一端,所述内筒壁的端部连有连接环,所述连接环垂直于内筒壁的侧壁,所述外筒壁套设于所述内筒壁的外部,所述内筒壁还通过所述连接环连接于所述外筒壁。

2.根据权利要求1所述的一种软损伤设备的分体式喷嘴,其特征在于:平直管体的一端还连接接头内螺纹,所述平直管体通过接头内螺纹连接于所述砂液喷管。

3.根据权利要求1所述的一种软损伤设备的分体式喷嘴,其特征在于:锥形喷嘴的外壁还设有便于锁紧锥形喷嘴的锁紧平台。

4.根据权利要求1所述的一种软损伤设备的分体式喷嘴,其特征在于:所述内筒壁包括螺纹端和防漏端,所述内筒壁通过所述螺纹端连接于所述连接环,所述防漏端沿内筒壁的外壁设有一环形凹槽,所述环形凹槽内设有第一防漏垫圈。

5.根据权利要求1所述的一种软损伤设备的分体式喷嘴,其特征在于:所述内筒壁和所述外筒壁之间预留供螺纹筒通过的连接间隙。

6.根据权利要求5所述的一种软损伤设备的分体式喷嘴,其特征在于:所述连接间隙内还设有第二防漏垫圈,所述第二防漏垫圈与所述连接环相接触。

技术总结
本实用新型提供了一种软损伤设备的分体式喷嘴,包括平直管体、锥形喷嘴和连接机构,平直管体的一端与软损伤设备的砂液喷管相连通,平直管体的另一端还通过连接机构连接锥形喷嘴,连接机构包括连接套筒、螺纹筒和防漏垫圈,螺纹筒为内螺纹筒,螺纹筒还沿锥形喷嘴的中心轴方向连接于锥形喷嘴的底端,螺纹筒还连接连接套筒;连接套筒包括内筒壁、外筒壁和连接环,内筒壁上设有与内螺纹筒相匹配的外螺纹,内筒壁沿平直管体中心轴方向连接于平直管体的另一端,内筒壁的端部连有连接环,连接环垂直于内筒壁的侧壁,外筒壁套设于内筒壁的外部,内筒壁还通过连接环连接于外筒壁。本实用新型便于软损伤吸杂过程中喷嘴的更换,降低生产成本。

技术研发人员:王晓飞;李鲁;刘虎
受保护的技术使用者:麦斯克电子材料有限公司
技术研发日:2019.09.11
技术公布日:2020.08.18

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